VACCUM-GENERAL

Vacuum General war ein US-amerikanischer Spezialist für Mess- und Regeltechnik in der Hoch- und Ultrahochvakuumtechnik. Das Unternehmen entwickelte präzise Instrumente zur Erfassung und Steuerung von Vakuumprozessen und unterstützte damit anspruchsvolle Anwendungen in Forschung, Halbleiterfertigung und industriellen Produktionsanlagen. Die Produkte standen für hohe Messgenauigkeit, Zuverlässigkeit und eine einfache Integration in komplexe Vakuumsysteme. Das Produktsortiment umfasste Vakuummessgeräte, Vakuumcontroller, Ionisationsmessgeräte, Pirani-Messsysteme, Kapazitätsmanometer, Vakuumsensoren sowie elektronische Steuer- und Überwachungseinheiten. Die Systeme kamen unter anderem in der Halbleiterindustrie, Dünnschichttechnik, Beschichtungstechnik, Materialforschung, Elektronenmikroskopie sowie in Labor- und Analytikanwendungen zum Einsatz. Sie ermöglichten eine präzise Überwachung des Prozessdrucks und trugen zur Stabilität sensibler Fertigungsprozesse bei. Im Laufe der Unternehmensentwicklung wurde Vacuum General Teil von MKS Instruments. Die Technologien und Produktlinien flossen in das Portfolio des weltweit tätigen Messtechnik- und Vakuumspezialisten ein und werden dort kontinuierlich weiterentwickelt. Dadurch profitieren Anwender heute von modernen Messlösungen, die auf der langjährigen Erfahrung von Vacuum General aufbauen.