MYKROLIS

Mykrolis war ein international tätiger Hersteller von Filtrations- und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie. Das Unternehmen entstand im Jahr 2001 durch die Ausgliederung der Microelectronics-Sparte von Millipore und konzentrierte sich auf Technologien zur Reinigung, Kontrolle und Förderung hochreiner Flüssigkeiten und Prozessgase. Die Produkte unterstützten Hersteller von Halbleitern und Mikroelektronik dabei, Verunreinigungen zu minimieren und stabile Fertigungsprozesse sicherzustellen. Das Produktspektrum umfasste Flüssigkeits- und Gasfilter, Druckregler, Massendurchfluss- und Gasmanagementsysteme, Ventile, chemische Versorgungssysteme sowie Komponenten für die hochreine Medienversorgung. Die Lösungen wurden in der Halbleiterfertigung, Displayproduktion, Photovoltaik, Optoelektronik und weiteren Hightech-Anwendungen eingesetzt. Hohe Reinheit, präzise Prozesskontrolle und zuverlässige Materialversorgung standen dabei im Mittelpunkt. Im Jahr 2005 fusionierte Mykrolis mit Entegris. Durch den Zusammenschluss entstand einer der weltweit führenden Anbieter für Materialintegritäts- und Kontaminationskontrolllösungen. Die Technologien und Produktlinien von Mykrolis werden seitdem unter der Marke Entegris kontinuierlich weiterentwickelt und finden weltweit Einsatz in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Hightech-Industrie.